抛光垫由一种特殊的微孔发泡材料制成，分为聚氨酯类、阻尼布和无纺布类，用于加工高平坦度要求及光洁度要求。抛光垫软硬适中同时保持多孔，这种坚硬可使抛光垫终身保持平坦一致性，产品已经开发用于各种各样需求及基板材料的平面加工和磨削加工。
主要服务市场：
半导体基板
平板玻璃/LCD/FPD
精密光学
存储磁盘
加工材料/应用包括：
半导体基板/硅片
LCD/平板显示器
精密光学元件
磁盘存储器基板
磁盘驱动头
典型产品：
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产品型号 |
密度（g/cm3） |
硬度C |
开口径（um） |
压缩率 |
填充物 |
特点 |
用途 |
备注 |
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7355 |
0.34 |
58 |
65 |
74 |
阻尼布 |
通用性强 |
蓝玻璃粗精抛 |
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1900 |
0.37 |
65 |
65 |
64 |
阻尼布 |
高平坦性 |
蓝玻璃精抛 |
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|
2900 |
0.35 |
67 |
25 |
60 |
阻尼布 |
高平坦性 |
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LP-66 |
0.40 |
78 |
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聚氨酯（CeO2） |
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精密光学，玻璃磁盘 |
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LP-57 |
0.32 |
88 |
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聚氨酯（ZrO2） |
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精密光学，半导体基盘 |
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GR-35 |
0.58 |
89 |
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ZrO2 |
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液晶导电玻璃 |
